真空置換型グローブボックス/不活性ガス循環精製装置
真空排気によるガスパージ後、グローブボックス内の不活性ガスの水分・酸素を自動運転で除去します。
真空型グローブボックス/不活性ガス循環精製装置(特許取得済み) MGP920SZ
グローブボックス仕様 |
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※減圧排気:主室・副室とも13.3Pa以下 |
不活性ガス循環精製装置仕様(特許取得済) |
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※オプション:酸素濃度計・露点計・真空ポンプ :活性炭吸着塔(有機溶媒除去) |