万善工機株式会社

アイソレーター、グローブボックス,ドラフトチャンバーの万善工機株式会社

真空置換型グローブボックス/不活性ガス循環精製装置

真空排気によるガスパージ後、グローブボックス内の不活性ガスの水分・酸素を自動運転で除去します。

真空型グローブボックス/不活性ガス循環精製装置(特許取得済み) MGP920SZ

真空型グローブボックス/不活性ガス循環精製装置 MGP920SZ
グローブボックス仕様
主室寸法(mm) 900W×650D×700H
副室寸法(mm) 250W×400D×300H
本体材質 SUS304(SUS316)研磨仕上げ
コーナーR溶接
観察窓 強化ガラス 10t
※減圧排気:主室・副室とも13.3Pa以下

不活性ガス循環精製装置仕様(特許取得済)
精製能力 <1ppm O2&H2O(露点:-76.5℃)
精製方法 酸素 貴金属触媒による酸化反応
水分 モレキュラーシーブによる吸着
システム制御 PLC制御 自動内圧コントロール
     自動触媒還元・再生
循環ガス冷却 電子冷却機構
ダスト除去 HEPAフィルター 0.3μm(99.97%以上)
※オプション:酸素濃度計・露点計・真空ポンプ
      :活性炭吸着塔(有機溶媒除去)


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東京事業所/八潮工場
埼玉県八潮市大瀬5-5-8
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